Sheath ICP에 대하여

2004.06.25 13:03

관리자 조회 수:18194 추천:246


====================================<질문>===================================

전 대학원에서 ICP장비를 이번부터 배우려고 하는 학생입니다.
sheath 영역은 플라즈마 장비를 배우는데, 그보다도 플라즈마를 배우는데 매우 중요한 것으로 알고 있습니다. 좀더 이 영역에 대한 좀더 자세한 내용을 알고 싶은데 어디에서 찾을 수 있을지 궁굼합니다. 그리고 selective etching에대해 알고 싶습니다.

====================================<답변>===================================

질문하신 내용의 대부분은 이미 설명한 내용입니다.
본란을 잘 찾아 보시기 바랍니다.
특히 ICP든 CCP든 플라즈마 발생 방법에 대해서 공부를 하고자
한다면 이 또한 이미 설명 드린 내용에서 기초적인 이해를 얻을 수
있을 것 입니다.

한 가지 권하고 싶은 것은 ICP 공부 이전에 DC glow 방전에 대해서 먼저
이해하고 공부를 시작하기 바랍니다.

(+ 저희 플라즈마 응용 연구실의 강의록을 참조하기 바랍니다.)


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
623 Collisional mean free path 문의... [1] 776
622 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 779
620 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 782
619 플라즈마 충격파 질문 [1] 785
618 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 789
617 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 791
616 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 792
615 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 792
614 RF 파워서플라이 매칭 문제 800
613 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 809
612 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 818
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 825
610 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
609 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 832
608 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 835
607 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 836
606 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
605 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
604 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 847

Boards


XE Login