Sheath ICP에 대하여

2004.06.25 13:03

관리자 조회 수:18054 추천:246


====================================<질문>===================================

전 대학원에서 ICP장비를 이번부터 배우려고 하는 학생입니다.
sheath 영역은 플라즈마 장비를 배우는데, 그보다도 플라즈마를 배우는데 매우 중요한 것으로 알고 있습니다. 좀더 이 영역에 대한 좀더 자세한 내용을 알고 싶은데 어디에서 찾을 수 있을지 궁굼합니다. 그리고 selective etching에대해 알고 싶습니다.

====================================<답변>===================================

질문하신 내용의 대부분은 이미 설명한 내용입니다.
본란을 잘 찾아 보시기 바랍니다.
특히 ICP든 CCP든 플라즈마 발생 방법에 대해서 공부를 하고자
한다면 이 또한 이미 설명 드린 내용에서 기초적인 이해를 얻을 수
있을 것 입니다.

한 가지 권하고 싶은 것은 ICP 공부 이전에 DC glow 방전에 대해서 먼저
이해하고 공부를 시작하기 바랍니다.

(+ 저희 플라즈마 응용 연구실의 강의록을 참조하기 바랍니다.)


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16933
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84423
533 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 807
532 고진공 만드는방법. [1] 814
531 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 819
530 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 820
529 공정플라즈마 [1] 822
528 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 827
527 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 830
526 wafer bias [1] 830
525 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 835
524 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 835
523 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 837
522 RF 전압과 압력의 영향? [1] 840
521 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 841
520 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 843
519 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 853
518 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 854
517 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 856
516 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 856
515 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 858
514 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 870

Boards


XE Login