Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.

2021.07.05 14:38

카마 조회 수:1458

안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.

한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.

 

Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.

 -> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.

RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서 

나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.

그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20181
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
629 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 756
628 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 757
627 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 759
626 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
625 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
624 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
623 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 784
622 Collisional mean free path 문의... [1] 787
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 789
620 플라즈마 충격파 질문 [1] 794
619 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 800
618 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 800
617 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 804
616 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 806
615 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 812
614 RF 파워서플라이 매칭 문제 815
613 Self bias 내용 질문입니다. [1] 815
612 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 824
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 833
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
쓰기
태그

Boards

XE Login