Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
603 | PDP 에 대해서.. | 18302 |
602 | sputtering | 18282 |
601 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18232 |
600 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18212 |
599 | ICP에 대하여 | 18194 |
598 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18190 |
597 | rotational vibration excitation | 18180 |
596 | 진로상담 | 18143 |
595 | 증착에 대하여... | 18097 |
594 | DBD plasma | 18081 |
593 | 플라즈마의 정의 | 18039 |
592 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18022 |
591 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18019 |
590 | Plasma of Bio-Medical Application | 18006 |
589 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18000 |
588 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17955 |
587 | electrode gap | 17934 |
586 | 플라즈마 응용분야 | 17856 |
585 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17838 |
584 | capacitively/inductively coupled plasma | 17789 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.