안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
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| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] | 79257 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21270 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58068 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69625 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 94419 |
| 623 | 플라즈마 응용분야 | 17911 |
| 622 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] | 17900 |
| 621 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17868 |
| 620 | capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] | 17861 |
| 619 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17839 |
| 618 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 17817 |
| 617 | 교육 기관 문의 | 17813 |
| 616 | 충돌 | 17770 |
| 615 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] | 17680 |
| 614 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17647 |
| 613 | 유전체 플라즈마 | 17641 |
| 612 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17542 |
| 611 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] | 17532 |
| 610 | Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] | 17419 |
| 609 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17246 |
| 608 |
PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가]
 | 17138 |
| 607 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] | 17135 |
| 606 | RF에 대하여,, [Pierson coil과 V-I probe] | 17110 |
| 605 | Light flower bulb | 17106 |
| 604 | 형광등으로 부터 플라즈마의 의해 [Filament, Sputtering] | 17051 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.