Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
최영호
조회 수:9910
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[320]
85704
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
22607
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
59303
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
71042
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
98079
568
플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [플라즈마 형성 과정과 파센의 법칙]
[1]
13579
567
플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자]
13267
566
[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스]
[1]
13040
565
Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [ESC와 matcher]
[1]
12932
564
반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하]
12864
563
ICP와 CCP의 차이 [Self bias와 Maxwellian distribution]
[3]
12857
562
플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. [디바이 차폐와 이온화된 가스]
12461
561
N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정]
[1]
12079
560
플라즈마 살균 방식 [Plasma medicine]
[2]
11748
559
DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"]
[3]
11600
558
matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance]
[1]
11501
557
Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
11063
556
RGA에 대해서
10644
555
Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [플라즈마의 유지와 쉬스]
[1]
10578
554
플라즈마 PIC 질문드립니다. [PIC simulation]
[1]
10516
553
미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사]
[1]
10516
552
플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입]
[1]
10206
551
ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생]
[1]
10178
»
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
9910
549
수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징]
[1]
9847
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer