Deposition magnetic substrate와 플라즈마 거동

2018.12.19 21:30

홍석모 조회 수:471

안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76711
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68687
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92253
148 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 708
147 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 707
146 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 703
145 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 698
144 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 696
143 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 695
142 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
141 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 687
140 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
139 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 677
138 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 674
137 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 669
136 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 664
135 Polymer Temp Etch [1] 659
134 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
133 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
132 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 634
131 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 633
130 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 624
129 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
쓰기
태그

Boards

XE Login