Others Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정

2017.12.28 13:11

플라즈마엣칭 조회 수:388

V△p = -Sp△t ----(1) 이것을 초기조건 (시각0 의 기체 압력) p=p0 에서 풀면
p = p0exp(-st/V) ----(2) 를 얻는다

여기에서 1번식이 2번식으로 넘ㅇㅓ 가는 과정을 설명해 주시면 정말감사하겠습니다ㅠ

출처: https://m.blog.naver.com/kongtori/220800339950

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82556
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58734
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70359
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96244
84 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 474
83 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 461
82 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 461
81 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 458
80 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 456
79 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 434
78 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 428
77 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 419
76 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 418
75 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 416
74 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 414
73 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 412
72 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 403
71 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 400
70 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 396
69 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 396
68 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 390
67 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 388
» Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 388
65 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 381
쓰기
태그

Boards

XE Login