Chamber component 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해]

2024.05.22 09:03

임석준 조회 수:248

현재 반도체 장비 업체에 근무하고 있는 엔지니어입니다.

신입사원 발표 과제로 스퍼터링시 기판 온도 계산하는 과정을 직접 변수를 설정하고 구해보라고 주제를 받았습니다.

대충 타겟 온도를 200도, 냉각 장치를 20도라고 가정하고 타겟은 알루미늄 기판은 유리로 가정해봤는데

여러 열역학 이론을 공부해봤지만 아무래도 기판 온도를 계산하는 법 방향성을 못잡겠습니다..

조언주시면 감사합니다!!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102221
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24573
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61232
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73316
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105542
33 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 418
32 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 408
31 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 407
30 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 406
29 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 397
28 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 396
27 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 392
26 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 392
25 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 376
24 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 374
23 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 363
22 Druyvesteyn Distribution 359
21 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 358
20 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 345
19 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 338
18 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 335
17 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 330
16 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 330
15 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 327
14 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 325
쓰기
태그

Boards

XE Login