안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 


Boards


XE Login