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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56664
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67997
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90221
27 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 405
26 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 390
25 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 373
24 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 371
23 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 363
22 plasma modeling 관련 질문 [1] 354
21 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 345
20 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 329
19 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 314
18 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 295
17 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 259
16 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 257
15 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 256
14 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 252
13 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 250
12 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 250
11 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 216
10 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 213
9 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 200
8 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 158
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