Others QMA에서 electron beam의 generation 과정

2004.06.19 16:04

관리자 조회 수:17801 추천:227

1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
  이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.

너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......

ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
      찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
      좋겠습니다.  어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
      이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
      정말 감사드리겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75741
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19424
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56651
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67977
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90169
87 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1119
86 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1110
85 Group Delay 문의드립니다. [1] 1105
84 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1104
83 자기 거울에 관하여 1099
82 wafer bias [1] 1054
81 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1051
80 플라즈마 코팅 [1] 1013
79 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1005
78 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 990
77 전자 온도 구하기 [1] file 976
76 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 973
75 진학으로 고민이 있습니다. [2] 962
74 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 956
73 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 955
72 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 934
71 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 924
70 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 915
69 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 914
68 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 913

Boards


XE Login