Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76682
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57154
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68674
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
93 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
92 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1224
91 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1154
90 Group Delay 문의드립니다. [1] 1143
89 자기 거울에 관하여 1136
88 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1130
87 wafer bias [1] 1127
86 전자 온도 구하기 [1] file 1123
85 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1114
84 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1113
83 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1073
82 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1046
81 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1036
80 플라즈마 코팅 [1] 1036
79 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1029
78 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
77 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 997
76 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 965
» 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
74 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 956

Boards


XE Login