안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

저번에 재료에 따른 이온풍에 대해 질문했었는데요 오늘은 다른 질문을 하러 왔습니다.

저는 wire-plate로 전극을 구성해서 wire에 +극 고전압을 인가해서 코로나 방전을 시키고 있습니다.

이번에 재료를 바꾸면서 실험을 했었는데 이해가 잘 되지 않은 부분이 있습니다.

저는 플라즈마 공간 유지에 있어서 wire의 재질특성이 이온화 에너지가 낮아야 방전이 잘되고 plate의 재질특성이 전기전도도가 낮아야 플라즈마 공간이 잘 유지된다고 생각하고 있습니다.

wire의 재질이 이온화 에너지가 낮아야 된다고 생각한 이유는 이온화 에너지가 낮을 수록 방전 개시전압이 낮아지고 그만큼 플라즈마 공간 형성이 용이 하다고 생각했기 때문입니다.

다음으로 plate의 재질이 전기전도도가 낮아야 된다고 생각한 이유는 전기전도도가 높으면 방전이 일어나면서 plate로 손실되는 에너지가 클 것이라고 생각했기 때문입니다.

하지만 막상 실험을 해본결과 이온화에너지가 가장 낮은 은보다 니켈이 더 성능이 좋았고, 전기전도도가 낮은 텅스텐보다 은이 성능이 더 좋았습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76680
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57152
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
133 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2725
132 질문있습니다. [1] 2566
131 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2430
130 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2377
129 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
128 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2280
127 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2234
126 플라즈마볼 제작시 [1] file 2232
125 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2184
» 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2172
123 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2122
122 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2116
121 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2002
120 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1975
119 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1965
118 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1941
117 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1897
116 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1859
115 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1832
114 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1780

Boards


XE Login