Plasma in general 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가]
2024.07.02 08:43
안녕하세요. 플라즈마 관련된 회사에 다니고 있습니다.
관련되어 기초도 아직 잘 몰라서 질문방에서 많이 공부하고있습니다.
질문은 아래와 같습니다.
플라즈마 빔 사이즈 크기 측정 방법.
- OES 를 활용하여 측정외에 다른 방법이 있을까요? (Ar, He gas 사용.)
- 예) 카메라 촬영 후 현미경 혹은 포토샵
- 열화상 카메라 활용 등
측정 할수있는 방법이 궁금합니다.
감사합니다.
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플라즈마 사이즈를 알고자 함은 공정 균일도를 예상하려는 목적일 것입니다.
실제 플라즈마 사이즈를 알 수 있는 방법은 없으며 실제 공정 균일도와 matching이 잘 되는 센싱 방법을 활발하게 연구하고 있습니다.
가장 적극적인 방법은 탐침을 이용해서 플라즈마 균일도를 실측하는 방법이 있기는 합니다만, 이 자료는 공정 균일도에 기여하는 플라즈마 분포 정보일 뿐입니다. 즉 공정 균일도 데이터는 실제 dummy 웨이퍼 등을 써서 공정 분포 및 산포를 평가하는 것이 가장 확실합니다. 또는 웨이퍼 형 플라즈마 진단계가 개발되어 플라즈마 분포를 측정할 수 있습니다. 이를 공정 분포 데이터와 비교해서 상관관계 정보를 얻는 방법을 추천드립니다.