Others 형광등에서 일어나는 물리적인 현상
2004.06.19 17:02
저도 형광등에서 일어나는 물리적인 형상에 관해서 경험이 없기 때문에 전반적인 설명은 방명록 번호 97, 98번에 나와있는 것을 참고하시기 바랍니다.
참고로 뚱단지님의 형광등에 대한 설명에서 제가 몇가지를 수정/보완 할까 합니다.
1. "Ion의 Implantation에 의해 검게 코팅이 되는 효과가 나타난다"고 하셨는데 제 생각에는 Film Coating이라고 생각됩니다. Implantation은 높은 에너지의 이온을 필요로 하지요.
2. "이 대 주파수를 주는 것은 이온이 충분히 반응할 수 있을 만큼 줌으로써 Self Bias현상은 나타나지 않게 한다."이라 했는데 이온의 운동을 무시할 정도의 주파수는 플라즈마 조건에 따라 틀리지만 최소 수백 kHz 이상이 되어야만 한다고 새악ㄱ합니다. 인버터에서 그 정도의 주파수를 만드는지는 모르겠습니다. 그리고 Self Bias현상은 잘 애해가 되지 않는군요. 방명록의 이전 Q&A를 찾아보면 성명이 나오니가 참고하십시요.
3. "이온이 형광램프의 벽을 치기 전에 극성이 바뀌어 이온과 벽과의 충돌횟수가 줄어들어 검게 변하는 현상이 줄어든다." 앞서 설명한 것처럼 수백 kHz 이상이 되지 않으면 이온과 벽과의 충돌횟수가 줄어드는 효과를 볼 수 없습니다.
4. RF 플라즈마의 전위는 입력전력에 따라 변할 수 있습니다. 그리고 플라즈마의 on/off 현상은 대체로 주파수가 100kHz 이하에서는 플라즈마가 on/off 된다고 합니다. 그러나 100kHz는 절대값이 아니고 Chamber의 크기 Discharge의 종류에 따라 달라질 수 있습니다.
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