Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [180] | 74896 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18752 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56231 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66713 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88082 |
51 | 문의 드립니다. [1] | 776 |
50 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 774 |
49 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 764 |
» | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 764 |
47 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 739 |
46 | Collisional mean free path 문의... [1] | 701 |
45 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 695 |
44 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 689 |
43 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 667 |
42 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 661 |
41 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 637 |
40 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 632 |
39 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 611 |
38 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 603 |
37 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 579 |
36 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] ![]() | 572 |
35 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 541 |
34 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 539 |
33 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] ![]() | 507 |
32 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 495 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.