Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소]
2018.05.03 11:20
대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데,
관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다.
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우리 연구실 장비에서는 해당 가스 실험은 어렵습니다. 아쉽지만 반도체 공동 연구소 등 화공과 시설을 사용하여야 할 것 같군요.