ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.

2014.06.20 14:08

김병인 조회 수:2683

안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76650
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57148
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92125
98 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4444
97 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3993
96 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3669
95 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3518
94 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3393
93 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3321
92 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2749
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2683
90 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2630
89 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2465
88 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2367
87 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2306
86 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2304
85 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2300
84 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2262
83 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2222
82 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1973
81 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1940
80 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1931
79 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1910
쓰기
태그

Boards

XE Login