Others ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
2020.02.11 14:31
안녕하십니까 교수님 저는 한양대학교에서 학부연구생으로 공부를 하고 있는 이창경입니다.
제가 플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는중에 플라즈마 소스에 대해서 여러가지 알아보았습니다.
그런데 요즘은 ICP 플라즈마 소스의 등장으로 ECR 플라즈마 소스를 잘 사용하지 않는다고 들었는데 그 이유를 정확히 찾지 못하다 교수님의 연구실 홈페이지를 알게 됐고 질문방에 답을 찾다가 찾지 못해서 이렇게 직접 글을 올리게 됐습니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75761 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19447 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56668 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68017 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90278 |
| 86 | RPSC 관련 질문입니다. [2] | 3792 |
| 85 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1]  | 3702 |
| 84 | CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] | 3323 |
| 83 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] | 3298 |
| 82 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3233 |
| 81 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3186 |
| 80 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2614 |
| 79 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2507 |
| 78 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 2362 |
| 77 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2332 |
| 76 | RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] | 2221 |
| 75 | 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] | 2161 |
| 74 | CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] | 2092 |
| 73 | RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] | 2069 |
| 72 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2024 |
| » | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 1924 |
| 70 | 가입인사드립니다. [1] | 1864 |
| 69 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1818 |
| 68 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 1793 |
| 67 | RF generator 관련 문의드립니다 [3] | 1762 |