ATM Plasma 기중방전에서 궁금한것이
2004.06.25 12:53
질문 ::
제가 기중방전실험을 통해서 거리가 10-35mm 간격의 구-구 전극에서 습도의 영향을 보고 싶어서 실험을 하였습니다. 습도를 40%-90%까지 가변하면서 전로파괴전압을 측정하였는데 그 결과는 습도가 높을수로 파괴전압을 큰 것으로 나타났습니다. 이쪽에 입문한지 얼마되지 않아서 그 이유가 궁금합니다. 실험하기 전에는 습도가 높을수로 파괴전압이 낮을것이라고 예상했는데, 반복실험을 통해서 관찰해보니 그 결과는 반대인데, 이것을 이론적으로 풀어주시면 더욱더 고맙겠습니다. 아니면 간략하게라도 이유를 설명해주심 감사하겠습니다.
그럼, 안녕히계십시요.
답변 ::
저도 같은 생각인데 결과가 의외입니다. 좀더 구체적으로 자료에
대해서 논의를 해 보면 좋을 것 같습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] | 3649 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15344 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50578 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 62997 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82143 |
111 |
F/S (Faraday Shield)
![]() | 20799 |
110 | ccp-icp | 20658 |
109 | Lissajous figure에 대하여.. | 20388 |
108 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20107 |
107 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20000 |
106 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19569 |
105 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19554 |
104 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19077 |
» | 기중방전에서 궁금한것이 | 19043 |
102 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18753 |
101 | ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] | 18410 |
100 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18193 |
99 | DBD plasma | 17914 |
98 | capacitively/inductively coupled plasma | 17469 |
97 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17397 |
96 | 유전체 플라즈마 | 17255 |
95 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 16825 |
94 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16173 |
93 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 15852 |
92 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 15836 |