안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
75 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1889
74 가입인사드립니다. [1] 1880
73 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1791
72 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716
71 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
70 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
69 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
68 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
67 plasma 형성 관계 [1] 1464
66 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1450
65 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1426
64 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1411
63 ICP lower power 와 RF bias [1] 1403
62 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1395
61 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
60 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1332
59 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1322
58 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1289
57 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1267
56 플라즈마 챔버 [2] 1205

Boards


XE Login