회원 가입했어요

 유용한 사이트 운영 감사 드립니다


 RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가

수출하고자 하는데요.

  이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다


  CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?


 -챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?

 - RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요? 

- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요? 

-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요?   채용시 장점은 ?


evision21 드림

trade consultanta  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1200
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49376
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59486
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74192
44 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 936
43 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 935
42 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 919
41 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 911
40 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 870
39 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 836
38 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 774
37 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 758
36 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 750
» 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 687
34 Plasma Generator 관련해서요. [1] 653
33 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 651
32 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 649
31 공정플라즈마 [1] 647
30 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 640
29 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 602
28 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 580
27 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 567
26 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 535
25 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 532

Boards


XE Login