Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
2022.05.12 00:29
안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.
GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.
1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점
4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..
위 4개 질문드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] | 76503 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20043 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57103 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68585 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91537 |
74 | 가입인사드립니다. [1] | 1878 |
73 | RF generator 관련 문의드립니다 [3] | 1877 |
72 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1783 |
71 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1704 |
70 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1658 |
69 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1652 |
68 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1588 |
67 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1567 |
66 | plasma 형성 관계 [1] | 1448 |
65 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1433 |
64 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1419 |
63 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1392 |
» | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1392 |
61 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1389 |
60 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1374 |
59 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1322 |
58 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1320 |
57 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1274 |
56 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1265 |
55 | micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] | 1199 |
저희는 질소 및 질화막 공정에 익숙하지 않아 답변이 궁색합니다.
관련해서 최근 N2 관련 플라즈마를 깊이 연구하고 있는 그룹이 있어 소개해 드립니다. 아마도 연락을 취하시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.
한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단 (Plasma E. I. Convergence Research Center): http://www.kfe.re.kr