안녕하세요, 플라즈마에 대해서 공부 중인 학생입니다.

다중 주파수를 이용한 ccp 타입의 플라즈마 식각 장치에서 바이어스 전극에 저주파 전력을 인가함으로써, 이온 입사에너지를 증대된다고 배웠는데요. 어떠한 이유로 저주파 전력을 인가시, 이온 입사 에너지가 증대되는지 궁금해서 질문을 남기게 되었습니다.

그리고, 다중 주파수를 이용한 ccp 타입의 플라즈마 식각장치에서 전극에 고주파 전력을 인가함으로써, 플라즈마 밀도에 정상파 효과가 발생한다고 해당 랩의 논문에서 읽었는데요. 어떠한 이유로 정상파 효과가 발생하고, 고주파 전력을 100MHz --> 60MHz로 변경시 정상파 효과가 줄어드는지 궁금해서 질문을 남기게 되었습니다.

답변을 주시면, 공부하는데 많은 도움이 될 것같습니다.  답변을 부탁드립니다.(- -)(_ _)(- -)

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2931
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14140
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50061
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62375
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80763
23 플라즈마 온도 26520
22 고온플라즈마와 저온플라즈마 22481
21 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21729
20 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21488
19 플라즈마 진동수와 전자온도 19441
18 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 19352
17 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18655
16 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? 18203
15 저온 플라즈마에 관한 질문 18056
14 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17459
13 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 17447
12 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17049
11 고온플라즈마와 저온플라즈마 16806
10 산업용 플라즈마의 특성 14893
9 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7827
8 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5555
7 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 2952
6 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2386
5 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2093
» 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1394

Boards


XE Login