안녕하십니까, 교수님. 플라즈마에 관심이 많은 전자과 학부생입니다.

ICP에서의 skin depth에 대해 알아보고 있는데, 궁금한 점이 있어 질문 드리고 싶습니다.

 

skin depth는 전자기파가 챔버 내로 침투할 수 있는 길이로, 플라즈마 밀도가 높아질수록 해당 길이는 짧아진다고 알고 있습니다.

고밀도 플라즈마에서는 quartz window 근방에 형성된다고 알고 있는데, 그렇다면 icp는 주로 해당 부근에서 전자가 가속된다고 생각해도 될까요?(CCP가 Cathode fall 부근에서 주로 가속되는 것과 비슷하게).

 

비슷한 방면으로, icp에서 E-mode->H mode로 전환되며 플라즈마 밀도가 커지면서 skin depth 또한 줄어들 것이니, 플라즈마 형성 초기에는 전자가 흡수하는 에너지가 커지다가, 이후 점차 작아질 것이라고 생각하는데, 이러한 태생적인 특징이 icp 플라즈마 밀도 증가의 한계에 영향을 끼친다고 볼 수 있을까요?

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78015
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93625
33 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 32129
32 플라즈마가 불안정한대요.. 24552
31 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24422
30 No. of antenna coil turns for ICP 23175
29 플라즈마의 발생과 ICP 22196
28 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21804
27 ccp-icp 21638
26 F/S (Faraday Shield) file 21597
25 ICP TORCH의 냉각방법 15932
24 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3958
23 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2532
22 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2498
21 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2467
20 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2414
19 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2057
18 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1934
17 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1714
16 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1712
15 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1691
14 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1592

Boards


XE Login