Remote Plasma 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
2019.06.25 10:26
회원 가입했어요
유용한 사이트 운영 감사 드립니다
RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가
수출하고자 하는데요.
이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다
CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?
-챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?
- RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요?
- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요?
-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요? 채용시 장점은 ?
evision21 드림
trade consultanta
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75778 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19464 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56676 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68054 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90353 |
| 17 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 94848 |
| 16 | PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] | 24911 |
| 15 | ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] | 24185 |
| 14 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18451 |
| 13 | In-flight plasma process | 15480 |
| 12 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14185 |
| 11 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10253 |
| 10 | RPSC 관련 질문입니다. [2] | 3802 |
| 9 | RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] | 2227 |
| 8 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 1796 |
| 7 | Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] | 1740 |
| » | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 976 |
| 5 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1]  | 974 |
| 4 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 922 |
| 3 | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 858 |
| 2 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 700 |
| 1 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 293 |