Others [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering]

2011.09.04 20:32

coating revolution 조회 수:22944

안녕하세요.

 

큐에스아이라는 회사의 coating field를 담당하는 우병화 사원이라고 합니다.

 

한가지더 의문점이 있어서 문의 드립니다.

 

현재 장비로는 ECR sputter, RF sputter 를 보유 하고 있습니다.

 

현재 저의 장비의 plasma density를 알고 싶은데 계측장비를 구입하기는 너무 액수가 큽니다.

 

간단히 자사에서 쉽게 계측할 수 있는 방법이 있는지에 대해서 여쭤보고 싶습니다.

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101834
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24448
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61100
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73137
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105300
43 탐침법 28224
42 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 28000
» [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22944
40 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22896
39 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21547
38 대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점] 21086
37 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20968
36 IEDF EQP에 대한 답변 file 20898
35 Langmuir probe tip 재료 20541
34 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20478
33 Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. [RF ground와 Cl Plasma] 19797
32 QMA에 관하여 [1] 19658
31 AMS진단에 대하여 궁금합니다 file 19112
30 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18827
29 RF compensate probe 18524
28 PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가] file 17210
27 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 16169
26 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14791
25 RGA에 대해서 10688
24 자료 요청드립니다. [1] 6523
쓰기
태그

Boards

XE Login