Matcher Interlock 화면.mag overtemp의 의미

2020.12.16 11:20

하모예 조회 수:472

안녕하세요

Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72995
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17584
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55512
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65685
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86006
110 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46881
109 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40572
108 Ground에 대하여 38259
107 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34985
106 matching box에 관한 질문 [1] 29358
105 esc란? 27756
104 Arcing [1] 27692
103 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27202
102 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26918
101 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26094
100 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25449
99 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25444
98 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24595
97 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24525
96 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24509
95 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24132
94 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23142
93 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22769
92 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22447
91 Peak RF Voltage의 의미 22277
쓰기
태그

Boards

XE Login