안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 RF 관련 업무를 하는 회사원입니다.

다름이 아니라 RF calibration에 대해 질문 드리고 싶은데요,

RF calibration의 원리와 mechanism이 어떻게 되는건가요?

Open, short, load 소자에 대한 측정값과 기본 응답 값 사이의 차이를 계산해서 보상한다, cable길이에 의한 위상차를 보정하고 주변 잡음에 의한 영향을 상쇄하는 과정이다.

 

정도만 알고 있고, 자세한 메커니즘은 찾아보기 힘들어 질문 드립니다. 그러다보니 캘리브레이션을 할 때 기계적으로 버튼을 누른다는 생각을 지울수가 없네요...

 

calibration 되는 메커니즘에 대한 설명 부탁드립니다!

더불어 고주파(수M~수백MHz) 수준의 주파수를 cal할때 주의점이 있다면, 주의점도 알려주시길 부탁드립니다

 

감사합니다. 새해복많이 받으십시오

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76681
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57152
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
61 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3171
60 RF matcher와 particle 관계 [2] 2906
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2812
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2801
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2575
56 Si Wafer Broken [2] 2504
55 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2490
54 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2433
53 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2336
52 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2326
51 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2309
50 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2308
49 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2223
48 chamber impedance [1] 2006
47 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1996
46 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1948
45 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1907
44 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
43 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1841
42 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1700

Boards


XE Login