ESC Si Wafer Broken

2018.08.01 11:16

장영구 조회 수:1782

안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.

Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..

Si Wafer가 ESC Chucking  Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)

ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.

ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)

Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3648
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15339
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62994
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82123
45 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1887
» Si Wafer Broken [2] 1782
43 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1782
42 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1766
41 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1702
40 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1682
39 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1656
38 chamber impedance [1] 1635
37 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1580
36 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1568
35 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1547
34 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1544
33 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1531
32 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1499
31 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1378
30 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1204
29 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1161
28 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1115
27 MATCHER 발열 문제 [3] 1109
26 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1059

Boards


XE Login