Matcher 매칭시 Shunt와 Series 값
2021.05.17 15:38
안녕하세요. 반도체 장비 기업에 다니고 있는 엔지니어 입니다.
다름이 아니라 CCP 방식을 쓰는 장비를 운용하기 위해서 매칭을 하는데,
매칭을 잘? 혹은 효율적으로 빠르게 하기 위해서 처음에 Shunt, Series 값을 지정해 주고 있습니다.
그렇게 하래서 하고는 있는데 이 값들이 매칭에 어떤 영향을 끼치게 되는 것인지 궁금합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57158 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68677 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92193 |
| 41 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1]  | 1596 |
| 40 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1507 |
| 39 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1502 |
| 38 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
| 37 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1457 |
| 36 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1454 |
| 35 | 알고싶습니다 [1] | 1447 |
| 34 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 33 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1407 |
| 32 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1323 |
| 31 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1263 |
| 30 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1221 |
| 29 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1154 |
| 28 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1112 |
| 27 | Plasma Arching [1] | 1039 |
| 26 | 고진공 만드는방법. [1] | 1006 |
| 25 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1003 |
| 24 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 957 |
| 23 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 878 |
| 22 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 842 |