ESC ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
2021.06.02 16:54
안녕하세요.
반도체 회사 설비 엔지니어로 관련 200mm conductor etcher 에서 ceramic esc 를 사용하고 있습니다.
해당 esc 를 운용하면서 공정 진행중 b-he flow error 증가하면서 error 가 발생하고 빈도가 잦아지면 교체를 하게 되는데
해당 esc 분리하여 외부 검증 요청시 표면에 polymer가 증착되어 chucking 을 떨어뜨린다고 합니다.
국내 major 회사에서도 동일한 문제가 있어서 ISD란 공정을 진행하여 polymer 제거를 하여 he error 를 개선한 이력이 있다고 하여
ISD 공정이 무엇인지..해당 공정 parameter 가 어떤것이지...가능하다면 recipe 를 어떻게 구성해야 하는지에 대한
referance 를 문의 드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20181 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
42 | 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] | 1598 |
41 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1514 |
40 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1513 |
39 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
38 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1459 |
37 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1458 |
36 | 알고싶습니다 [1] | 1457 |
35 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
» | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1416 |
33 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1324 |
32 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
31 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1223 |
30 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
29 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
28 | Plasma Arching [1] | 1051 |
27 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
26 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
25 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 959 |
24 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 881 |
23 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |