Matcher matching box에 관한 질문
2010.05.05 13:54
안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68692 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92268 |
22 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2435 |
21 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2329 |
20 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 2317 |
19 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1949 |
18 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1910 |
17 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1845 |
16 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1512 |
15 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
14 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1455 |
13 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
12 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1269 |
11 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1112 |
10 | Plasma Arching [1] | 1048 |
9 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1007 |
8 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
7 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 814 |
6 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 733 |
5 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
4 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 545 |
3 | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 390 |
- 논문: 이상원박사, " 전기적 특성을 고려한 ICP Source 설계",한국진공학회지 제18권 제3호 2009.5, pp. 176~185(10pages) 를 참고하세요.