아래 241번 글과 같은 내용으로 문의를 주신 것 같네요

두 가지 측면에서 확인이 필요할 것으로 보입니다.

첫번째는 매칭범위 입니다.

안테나의 인덕턴스나 매칭 회로 구조 및 사용된 축전기의 정전용량을 확인하시고

보통 가장 많이 사용하는 standard type 혹은 alternate type matching network를 구성했을 때 리액턴스를 0으로 만들 수 있는 상황인지 확인해 보시면 좋을 것 같네요

두번째는 안테나에 인가되는 전압의 크기입니다.

Paschen curve라는 것이 있습니다.

이는 각각의 운전 압력 및 전압이 인가되는 간격에 따른 방전 개시 전압을 나타내는 것입니다.

물론 RF에서는 DC에 비해서 방전 전압이 다소 낮아지기고 조금더 복잡한 거동을 보이기는 하지만 전반적으로는 비슷한 경향을 보입니다.

지금 운전하시는 압력 범위가 수백 mTorr 정도인데 압력을 바꾸었을 때 (예를 들어 수십 mTorr 정도로 낮추었을 때)는 방전이 된다면 이는 방전 개시 조건을 만족하지 못했기 때문일 수 있습니다. 대부분 더 높은 인가 전압이 필요한 것이죠

혹은 기준점이 될 수 있는 챔버 내의 가장 가까이 있는 접지면으로부터 안테나의 전원 입력단 사이 거리가 너무 멀어서 전압은 높지만 실제 전기장 크기는 작을 수도 있습니다. 이런 이유로 방전이 되지 않을 수 있겠지요.

현실적으로 같은 인가 전력 크기에서 인가 전압을 높이기 위해서는 안테나의 인덕턴스를 높여야하지만 이는 매칭 조건을 만족하기 어려울 뿐더러 고전압에 의한 문제가 발생할 확률이 높습니다.

이런 경우는 따로 초기 방전을 시킬 수 있는 장치 (예를 들어 챔버 내에 순간적으로 spark를 발생시켜 seed electron을 공급한다던가)를 설치하면 해결할 수도 있습니다.

일반적으로 플라즈마가 발생하면 안테나의 임피던스가 플라즈마 임피던스의 영향을 받게 되면서 안테나 인덕턴스 값이 줄어들기 때문에 한번 방전이 시작되면 보통은 매칭도 쉽게 잡히고 방전이 유지되는 경우가 많습니다.

참고하십시오

중복으로 올라간 게시글은 삭제 하였습니다.

남겨주신 댓글은 잘 읽어보았습니다. 빠른 답변 감사드립니다.

기술자와 다시 의논해보겠습니다.

감사합니다.