Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님]

2017.01.04 11:49

최찬 조회 수:2082

안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.

지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.

RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.

한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.

혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요?

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313]	79549
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	21331
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	58124
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	69691
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	94589
14	[질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1]	22780
13	IEDF EQP에 대한 답변	20842
12	플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1]	20699
11	안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1]	20326
10	QMA에 관하여 [1]	19497
9	AMS진단에 대하여 궁금합니다	19074
8	RF compensate probe	18487
7	PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가]	17139
6	공정검사를 위한 CCD 카메라 사용	16123
5	laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution]	14754
4	[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2]	2221
»	잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1]	2082
2	DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1]	1202
1	활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1]	628

쓰기

댓글 1