Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님]

2017.01.04 11:49

최찬 조회 수:2422

안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.

지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.

RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.

한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.

혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요?

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