안녕하십니까?
진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.
고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우
터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.
제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.
터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [180] | 74896 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18754 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56231 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66719 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88083 |
| 37 | Plasma etcher particle 원인 [1] | 2425 |
| 36 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2306 |
| 35 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2303 |
| 34 | Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] | 2061 |
| 33 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 1852 |
| 32 | Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] | 1772 |
| 31 | DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] | 1767 |
| 30 | doping type에 따른 ER 차이 [1] | 1735 |
| 29 | [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] | 1718 |
| 28 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 1622 |
| » | 터보펌프 에러관련 [1] | 1593 |
| 26 | [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] | 1531 |
| 25 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1470 |
| 24 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1426 |
| 23 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1319 |
| 22 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1131 |
| 21 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1056 |
| 20 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1055 |
| 19 | Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] | 1047 |
| 18 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 957 |
터보는 저압에서 운용되는 진공펌프입니다. 블레이드가 가스 입자를 충돌시켜서 입자를 챔버로 부터 빼내고, 블레이는 수만 RPM으로 고속회전합니다. 따라서 대기압에 노출이 된다면 당연히 모든 블레이드가 부러지게 되고, 축이 휘면서 정지하게 됩니다. 일부 압력이 높은 경우에는 축이 휘는 경우가 있어 에러의 원인이 될 수 있습니다. 수리가 필요해 보입니다.