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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69650
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37 PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] 32739
36 RF에 대하여... 32315
35 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31767
34 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 29905
33 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22500
32 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22155
31 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 21765
30 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19718
29 플라즈마를 이용한 박막처리 19563
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26 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15709
25 박막 형성 [ICP와 MOCVD] 15324
24 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 8752
23 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8148
22 플라즈마 데미지에 관하여.. [Charge의 축적과 damage] [1] 6569
21 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4547
20 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [세정 시간 및 식각 효율] [1] 4269
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간] [1] 3619
18 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3045

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