Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동

2009.08.05 12:52

조정안 조회 수:24762 추천:241

수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
24 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41192
23 Ground에 대하여 39313
22 Arcing [1] 28625
21 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26454
20 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25579
» RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24762
18 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24528
17 Peak RF Voltage의 의미 22576
16 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21098
15 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20357
14 석영이 사용되는 이유? [1] 19999
13 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 19336
12 MFC 19318
11 최적의 펌프는? 18530
10 Faraday shielding & Screening effect 18343
9 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17316
8 반응기의 면적에 대한 질문 12809
7 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9908
6 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2199
5 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1118

Boards


XE Login