Others 고진공 만드는방법.

2017.12.15 22:16

즙즙 조회 수:812

background pressure 이 10^-7이 되게 하려면

단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??


그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면 

ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?

단순하게 이론적으로 궁금하네요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5616
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16915
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51352
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64226
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84314
24 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40417
23 Ground에 대하여 37976
22 Arcing [1] 27384
21 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25934
20 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25428
19 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24534
18 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24051
17 Peak RF Voltage의 의미 22192
16 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 20908
15 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20055
14 석영이 사용되는 이유? [1] 19610
13 MFC 19189
12 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 19154
11 최적의 펌프는? 18412
10 Faraday shielding & Screening effect 18196
9 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17056
8 반응기의 면적에 대한 질문 12704
7 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9330
6 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1661
» 고진공 만드는방법. [1] 812

Boards


XE Login