Others N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]

2022.05.12 00:29

윤태화 조회 수:1717

안녕하세요. 반도체회사에서  PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.

 

GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.

 

1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

3. N2 / N2O  두 Gas의 Plasma 차이점 

4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..

 

위 4개 질문드립니다. 

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82853
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22001
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58780
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70419
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96401
31 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 79896
30 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23557
29 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21367
28 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19484
27 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source] [1] 16140
26 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14486
25 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9899
24 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8693
23 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해] [2] 6447
22 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient] [1] file 6347
21 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건] [3] 5030
20 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3669
19 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3422
18 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention] [3] 2933
17 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 2541
16 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 2005
15 ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition] [1] 1910
» N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1717
13 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1603
12 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1381
쓰기
태그

Boards

XE Login