OES 자료 요청드립니다.
2014.06.12 01:00
안녕하세요?
삼성반도체에서 식각 공정 OES 평가 업무를 하고 있습니다.
진공학회에서 OES자료를 찾다가 필요한 부분이 있어 자료 요청드립니다.
제목 : 광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석
진공학회 및 DB PIA에서는 1page만 있어 Full ver.이 필요합니다.
참고로 구매를 했는데도 1page만 보이고 있어 메일로 요청드립니다.
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