안녕하세요 OLED 증착 전 Plasma 전처리 장비를 다루고 있는 엔지니어 입니다.

GAS 주입후 RF 제너레이터에서 파워를 인가할때 최초 반사파또한 공급파워의 80%이상반사되는 현상이 발생중입니다.

Load Tune 값은 크게 변하지 않는 상태이며 최초 공급시 1sec 정도반사파가 크게 나타나다가 빠르게 안정화 되고 있습니다.

이러한 문제의 원인이 어디에 있는지 공부를해서 찾는중인데 쉽지가 않네요 도움주실만한 것이 있을까 해서 여쭙습니다.

좋은 하루 되세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [98] 3623
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15307
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50563
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62968
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 81976
64 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9064
63 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7068
62 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 6883
61 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6474
60 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6151
59 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5651
58 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5613
57 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5559
56 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5254
55 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4953
54 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4358
53 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3764
52 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3718
51 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2956
50 ESC Cooling gas 관련 [1] 2704
49 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2324
48 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2064
47 임피던스 매칭회로 [1] file 2041
46 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2001
» 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1900

Boards


XE Login