Others 고진공 만드는방법.

2017.12.15 22:16

즙즙 조회 수:1006

background pressure 이 10^-7이 되게 하려면

단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??


그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면 

ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?

단순하게 이론적으로 궁금하네요.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92262
41 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1597
40 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1513
39 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1511
38 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463
37 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1458
36 알고싶습니다 [1] 1455
35 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1455
34 MATCHER 발열 문제 [3] 1429
33 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1411
32 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1324
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1269
30 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1222
29 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1156
28 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1112
27 Plasma Arching [1] 1047
26 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1007
» 고진공 만드는방법. [1] 1006
24 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 957
23 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 880
22 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 843
쓰기
태그

Boards

XE Login