Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76692 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
783 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144419 |
782 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134441 |
781 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95598 |
780 | Plasma source type | 79646 |
779 | Silent Discharge | 64557 |
778 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54875 |
777 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47801 |
776 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43691 |
775 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41220 |
774 | 대기압 플라즈마 | 40704 |
773 | Ground에 대하여 | 39384 |
772 | RF frequency와 RF power 구분 | 39060 |
771 | Self Bias | 36381 |
770 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35894 |
769 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34944 |
768 | PEALD관련 질문 [1] | 32611 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.