Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련
2019.11.20 18:31
안녕하십니까?
현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.
유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,
추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?
제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.
엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
수고하십시오.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [233] | 75734 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19418 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56647 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67965 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90140 |
| 753 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 143616 |
| 752 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134360 |
| 751 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 94791 |
| 750 | Plasma source type | 79103 |
| 749 | Silent Discharge | 64525 |
| 748 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54281 |
| 747 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47482 |
| 746 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43614 |
| 745 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 41006 |
| 744 | 대기압 플라즈마 | 40443 |
| 743 | RF frequency와 RF power 구분 | 38971 |
| 742 | Ground에 대하여 | 38947 |
| 741 | Self Bias | 36314 |
| 740 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35521 |
| 739 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34815 |
| 738 | PEALD관련 질문 [1] | 32159 |
핵융합 연구소의 권득철박사님/ 한양대학교 정진욱교수님께 문의드려 보시면 좋은 정보를 얻으실 수 있을 것 같습니다.