Plasma in general Co-relation between RF Forward power and Vpp
2022.04.27 17:35
Hello,
I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor.
When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ?
댓글 2
-
김곤호
2022.04.28 17:57
추천:1 댓글
-
서태현
2022.05.03 11:25
What component is Vpp sensor installed on?
If Vpp sensor is attached to the matching network, check if the signal actually comes out from the analog signal. Remove the data cabler and measure it with the DVM on the matching network.
You need to check whether it is actual analog noise or actual measurement, and if it is measured on the matching network, it would be faster to test the replacement. Check if Match and GND are connected (signal GND, Match GND)
If there is a separate VI probe, you should suspect that there is a floating circuit.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] | 5835 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17290 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53125 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64509 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85122 |
| 678 | DC Bias Vs Self bias [5] | 30733 |
| 677 | matching box에 관한 질문 [1] | 29312 |
| 676 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29308 |
| 675 |
[re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다.
 | 29273 |
| 674 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29230 |
| 673 | 플라즈마 밀도 | 29107 |
| 672 | RF에 대하여... | 28638 |
| 671 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28533 |
| 670 | 반도체 관련 질문입니다. | 28493 |
| 669 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 28374 |
| 668 | esc란? | 27718 |
| 667 | Arcing [1] | 27564 |
| 666 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 27473 |
| 665 | 탐침법 | 27275 |
| 664 | 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 | 27159 |
| 663 | DBD란 | 27036 |
| 662 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 26992 |
| 661 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] | 26875 |
| 660 | 플라즈마 온도 | 26810 |
| 659 |
이온과 라디칼의 농도
| 26433 |
It seems to be an RF ground issue, and check it.