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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
323 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1770
322 터보펌프 에러관련 [1] 1737
321 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1733
320 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716
319 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1696
318 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1688
317 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1683
316 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
315 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
314 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
313 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
312 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
311 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
310 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1617
309 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
308 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1587
307 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
306 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
305 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
304 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518

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