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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20076 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57115 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68613 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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263 |
I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 1294 |
262 |
Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1289 |
261 |
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 1289 |
260 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1287 |
259 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1279 |
258 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1267 |
257 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1267 |
256 |
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1266 |
255 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1249 |
254 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1234 |
253 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1232 |
252 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1216 |
251 |
플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
[2] | 1210 |
250 |
플라즈마 챔버
[2] | 1205 |
249 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1204 |
248 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1193 |
247 |
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1] | 1176 |
246 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1173 |
245 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1159 |
244 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1146 |