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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
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151 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5910
150 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5648
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147 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4126
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145 Descum 관련 문의 사항. [1] 3698
144 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3672
143 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3658
142 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3552
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140 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3390
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134 CVD 공정에서의 self bias [1] 3032
133 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2719

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