번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57150
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92181
347 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1959
346 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1948
345 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1941
344 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1941
343 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1935
342 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1925
341 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1910
340 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1907
339 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1897
338 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1896
337 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1884
336 가입인사드립니다. [1] 1880
335 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
334 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1859
333 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1841
332 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1840
331 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1839
330 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1838
329 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1828
328 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1805

Boards


XE Login